ASTM F 1617-1995 用次级离子质谱法(SIMS)测量硅和EPI基片上表面钠、铝、钾的标准试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-17 16:57:31  浏览:9869   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringSurfaceSodium,Aluminum,PotassiumonSiliconandEPISubstratesbySecondaryIonMassSpectrometry(SIMS)
【原文标准名称】:用次级离子质谱法(SIMS)测量硅和EPI基片上表面钠、铝、钾的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1617-1995
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1995
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:质谱学;光谱测定法;试验方法;金属材料;测试方法
【英文主题词】:metallicmaterials;spectrometry;massspectrometry;testmethods
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:77_040_00
【页数】:
【正文语种】:英语